Desenvolvimento de um sistema de pulverização catódica com fonte de radiofrequência assistido por campos magnéticos para produção de filmes finos
DOI:
https://doi.org/10.22491/rmct.v40i3.11676.ptPalavras-chave:
Instrumentação, Pulverização Catódica, Filmes Finos, Propriedades Estruturais, Propriedades Elétricas, Propriedades ÓpticasResumo
Este trabalho descreve a concepção, a construção e a caracterização de um sistema de pulverização catódica com fonte de radiofrequência assistida por campos magnéticos para deposição de filmes finos. Materiais para alvo com propriedades elétricas distintas, foram usados para caracterizar o sistema: cobre, óxido de índio e dióxido de silício. Os filmes foram depositados em substratos de vidro e silício, à temperatura ambiente, com uma pressão de deposição da ordem de 8x10-4 Torr. A microestrutura dos filmes finos obtidos foi caracterizada por difração de raios x e microscopia de força atômica. As propriedades elétricas e óticas foram obtidas pelas medidas de efeito Hall e de transmitância, respectivamente. Os resultados mostraram que o sistema construído possibilita a deposição de filmes de alta qualidade e boa uniformidade de espessura. Para todos os materiais investigados, a taxa de deposição aumentou linearmente com a potência e as propriedades obtidas estavam de acordo com os valores reportados na literatura, mostrando o controle dos parâmetros de deposição no sistema construído.
Downloads
Downloads
Publicado
Como Citar
Edição
Seção
Licença
Copyright (c) 2026 Austim Mota Gomide Pimenta, Carlos Ferreira
Este trabalho está licenciado sob uma licença Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
A Revista Militar de Ciência e Tecnologia está licenciada:
A partir de 2022 sob as condições do Creative Commons (CC BY 4.0)
Até 2021 sob as condições do Creative Commons (CC BY-NC-SA 4.0)
Copyright: Os autores são os detentores do Copyright, sem restrições, de seus artigos.
As licenças estão informadas na página de acesso do artigo e são detalhadas a seguir:
Sob a licença CC-BY 4.0, você tem o direito de:
Compartilhar — copiar e redistribuir o material em qualquer suporte ou formato
Adaptar — remixar, transformar, e criar a partir do material para qualquer fim, mesmo que comercial.
De acordo com os termos seguintes:
Atribuição — Você deve dar o crédito apropriado, prover um link para a licença e indicar se mudanças foram feitas. Você deve fazê-lo em qualquer circunstância razoável, mas de nenhuma maneira que sugira que o licenciante apoia você ou o seu uso.
Sob a licença CC-BY-NC 4.0, você tem o direito de:
Compartilhar — copiar e redistribuir o material em qualquer suporte ou formato
Adaptar — remixar, transformar, e criar a partir do material
De acordo com os termos seguintes:
Atribuição — Você deve dar o crédito apropriado, prover um link para a licença e indicar se mudanças foram feitas. Você deve fazê-lo em qualquer circunstância razoável, mas de nenhuma maneira que sugira que o licenciante apoia você ou o seu uso.
Não Comercial — Você não pode usar o material para fins comerciais.
CompartilhaIgual — Se você remixar, transformar, ou criar a partir do material, tem de distribuir as suas contribuições sob a mesma licença que o original.
Sem restrições adicionais — Você não pode aplicar termos jurídicos ou medidas de caráter tecnológico que restrinjam legalmente outros de fazerem algo que a licença permita.
Aviso
Para qualquer reutilização ou distribuição, você deve deixar claro a terceiros os termos da licença a que se encontra submetida esta obra.
